Ocean Optics Film Sottili

La ex compagnia tedesca Mikropack, da qualche anno diventata parte integrante di Ocean Optics, produce strumenti per l’analisi di film sottili, quali ellissometri, riflettometri ed analizzatori di plasma. Nati dalla sapiente integrazione di strumenti Ocean Optics con componenti micromeccaniche di alta precisione ed un software capace di offrire la massima libertà e semplicità di utilizzo, la linea thin-film di Ocean Optics permette di controllare il film sottile dalla fase di deposizione al prodotto finito.

Le applicazioni sono innumerevoli e vanno dalla classica caratterizzazione di wafer per l’industria elettronica allo studio del processo di deposizione di film superconduttori per fini di ricerca all’analisi della crescita di ossidi nell’industria siderurgica.

Il team Analisi Ottica di GHT Photonics, forte della sua lunga esperienza con il prodotto, è a completa disposizione per qualunque richiesta riguardante gli strumenti Ocean Optics per l’analisi di film sottili.

PlasCalc

PlasCalc permette di valutare la presenza di diversi tipi di gas ionizzati e non durante un processo al plasma. Può essere facilmente programmato per seguire gli andamenti di un solo composto, attivare dei trigger e funzionare da feedback per il controllo del processo.

NanoCalc

NanoCalc è una famiglia di riflettometri capaci di valutare gli spessori o gli indici di rifrazione di fino a 10 diversi strati di film sottili, con una risoluzione fino a 0,1nm. Aggiungendo una piattaforma di movimentazione micrometrica Mikropack, il sistema diventa in grado di mappare automaticamente anche intere superifici.

SpecEL

L’ellissometro a largo spettro SPEC-EL permette di studiare non solo lo spettro riflesso dal campione ma anche la sua polarizzazione. In questo modo, oltre a poter valutare lo spessore di strutture multistrato complesse, ne può anche ricavare i coefficienti di rifrazione ed estinzione (n e k) lungo tutto lo spettro da 300 a 1’000nm. Altamente adattabile a particolari esigenze del cliente

http://www.oceanoptics.com/Products/metrology.asp

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